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制冷机低温泵是目前环模设备使用最多的真空获得设备，也几乎是大型环模设备获得清洁高真空环境的唯一选择。低温泵使用方便，可靠性高，故障率低。笔者在单位工作过程中先后使用过美国CTI、CVI、奥斯汀、德国莱宝等多个厂家的低温泵，对于低温泵使用过程中发生的故障在判断、定位、解决方法等方面积累了一定的经验。本文将重点对低温泵的典型故障进行分析，并提出部分解决方法。