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超声波清洗作为一种新兴的现代清洗方式，广泛应用于光学零件加工，从根本上克服了手工清洗的缺点，在现代化的大生产中已经全面取代了人工清洗，常规超声波清洗工艺对高折射率、化学稳定性差的光学零件清洗后，零件表面会产生大量疵病，表面光洁度急剧下降，通过实验，分析产生疵病的原因，得出适用于高折射率、化学稳定性差的殊材料光学零件的清洗工艺，使清洗后的一次交验合格率从5％提高到90％以上。