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高分子材料的力学性质、降解等特性依赖于其对水，氧气等的吸附。准确测量水等小分子在高分子膜中的扩散不仅需要高灵敏度，还要求较高的时间分辨率。对于高分子薄膜(厚度＜200nm)，由于膜对小分子的饱和吸附量极小，常用方法很难直接实现。本文介绍了一种新方法，利用微悬臂传感器来测量水分子在高分子纳米薄膜的扩散。利用等离子体聚合，在硅微悬臂表面形成一层稳定均匀的高分子薄膜。当将一液滴置于微悬臂上时，有两方面因素导致微悬臂的偏转∶毛细力作用使微悬臂向液滴一侧偏转；而水分子在高分子膜中的扩散导致的溶胀使微悬臂偏离液滴。根据微悬臂偏转随时间的变化，结合数学模型，实现水在高分子薄膜中扩散系数的测量。