【摘 要】
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石墨烯拥有优异而独特的性能，但零带隙影响了其在器件方面的应用。掺杂一些特定的原子对于石墨烯带隙和性能的改善有很大的意义。利用传统方法在金属基底上催化生长的石墨
【机 构】
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苏州大学功能与软物质研究院(FUNSOM)及苏州纳米科学与技术协同创新中心,苏州大学,江苏苏州工业园区仁爱路199号,215123
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石墨烯拥有优异而独特的性能，但零带隙影响了其在器件方面的应用。掺杂一些特定的原子对于石墨烯带隙和性能的改善有很大的意义。利用传统方法在金属基底上催化生长的石墨烯，需要先转移到介电层上才能进行后续的器件构筑，转移的过程会破坏石墨烯，引入缺陷和杂质。因此，我们直接在介电层上蒸镀一层含有苯环结构的固体碳源(含氮、硼、硫等芳香类)，并在其上层蒸镀金属铜薄膜作为催化剂，高温退火后，直接在介电层表面催化生长出高质量掺杂石墨烯，不需要转移，可直接加工制备器件，从而避免因转移而引起的污染、破损。
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