PECVD石墨垫使用寿命的改善

来源 :第十届中国太阳能光伏会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xieming15898575325

【摘要】

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在太阳能电池制造过程中，等离子增强型化学气相沉积(PECVD)这一道工序是必须而且非常重要的。而大多数传统PECVD设备都会用石墨框来装载电池片，因此用来支撑石墨框的石墨垫是必

【作者】

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沈寅王仁杰冯春暖汪钉崇

【机构】

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技术发展部,常州天合光能有限公司江苏省常州市 213031

【出处】

：

第十届中国太阳能光伏会议

【发表日期】

：

2008年期

【关键词】

：

PECVD设备石墨使用寿命化学气相沉积太阳能电池制造过程一道工序增强型电池片等离子装载制作支撑设计角铁

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在太阳能电池制造过程中，等离子增强型化学气相沉积(PECVD)这一道工序是必须而且非常重要的。而大多数传统PECVD设备都会用石墨框来装载电池片，因此用来支撑石墨框的石墨垫是必不可少的。因此，本文通过对石墨架内角铁的尺寸，质地的重新设计并制作，有效的改善了石墨垫的使用寿命。

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