基于凸轮驱动的高精度扫描驱动机构设计

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<正>随着现代工业技术的快速发展,高精度光束扫描技术日益受到重视。大范围、高精度、多模式、强适应性的光束扫描系统已经成为光电领域的前沿问题,由此必须拓展新型光束扫描的概念性、原理性及实现方法上的研究,为关键技术的突破提供基础性支撑。本研究提出一种偏摆正交双棱镜跟踪仪,可以实现亚微弧度量级扫描精度。在我们以前的研究中,详细研究了偏摆正交双棱镜的理论模型、扫描误差等问题,并
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