低温泵的工作性能指标包括极限真空、抽速和饱和吸附量。其中低温泵的抽速是衡量低温泵抽气性能的重要指标,利用低温泵抽气性能测试平台进行低温泵的抽气面温度、单位时间抽气量和对不同气体的抽速,可以为实际低温泵的设计提供理论指导。国内外的真空工作者,长期以来对扩散泵、分子泵、离子泵等的抽速测试罩进行了许多研究,并制定了这些泵的抽速测量的国际标准-ISO 1608/I。有关测试装置的标准在不同国家略有差别。例如日本采用了油扩散泵测抽速的方法^[1];兰州近代物理所则采用了涡轮分子泵的抽速测试罩^[2];有的不用测试罩对单个的泵测进行抽速测量,而是将数个低温泵装到大型真空室上去测总的平均抽速^[3]。美国的Martin Mariette Aerospace公司就是这样测试的。为了准确对低温泵的工作性能进行测试,我们搭建了一套低温泵抽气性能测试平台系统,可以对低温泵的降温时间、抽气速率、极限真空度和抽气容量进行测试。