【摘 要】
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本文研究了一种基于DR1／SU-8材料的聚合物电光开关。电光材料为主客掺杂型DR1／SU-8材料，配制时分散红1(DR1)与SU-8的质量比为15wt％。成功制备了以DR1／SU-8为芯层材料，以PMMA和SU-8
【机 构】
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集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林大学电子科学与工程学院，长春 130012
【出 处】
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第六届全国塑料光纤、聚合物光子学会议
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本文研究了一种基于DR1／SU-8材料的聚合物电光开关。电光材料为主客掺杂型DR1／SU-8材料，配制时分散红1(DR1)与SU-8的质量比为15wt％。成功制备了以DR1／SU-8为芯层材料，以PMMA和SU-8为上、下包层材料M-Z型光波导；在波导上制作了CPW行波铝电极，制得电光开关器件。测试得到开关器件的最小插入损耗为20dB，开关时间约6μs。
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