a-SiC xN y：H薄膜光学测试*

来源 :第六届全国固体薄膜学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lwhssg

【出处】

：

第六届全国固体薄膜学术会议

【发表日期】

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1998年期

【关键词】

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