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研究了固定的化学镀铜基础配方在不同表面活性剂作用下的吸收光谱和沉铜速率;探讨了表面活性剂、光谱曲线变化、沉铜速率三者之间的内在联系及相互作用机理.结果表明,加入光谱曲线产生红移的阳离子表面活性剂十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)可使镀液的沉铜速率提高,CTAB的添加量为4mg/L时,沉铜速率可达6.37um/h;加入光谱曲线产生红移的阴离子表面活性剂甲基磺酸(MSA)、苯磺酸钠(SBS)、十二烷基苯磺酸钠(SDBS)、十二烷基磺酸钠(SDS)都对沉铜反应起阻碍作用,对沉铜速率的影响表现为SBS＜SDBS＜SDS＜MSA,加入光谱曲线产生蓝移的表面活性剂1,4-丁炔二醇(BOZ)使镀液的沉铜速率总体提高,但浓度大小对沉铜速率的影响不明显。