为了解决我国一些应用领域对分子泵性能评价与量值溯源的需求,研制出分子泵性能参数测试装置.分子泵性能参数主要包括抽速、极限真空度、压缩比等,研制出10-1～10-10 Pam3/s 量级的复合型标准气体流量计提供可变的气体流量,仅采用标准流量法实现测试罩内压力为1～10-8Pa 的条件下抽速的测量；通过满量程为1.33×104 Pa 的电容薄膜真空计、磁悬浮转子真空计及分离真空计组合测量测试罩内气体压力,并利用磁悬浮转子真空计作为参考标准原位置校准分离真空计,相对于传统仅采用电离真空计测量测试罩内气体压力的方法,不仅拓宽了测试罩内气体压力的测量范围,并避免了电离型真空计灵敏度系数变化而引入的偏差；采用满量程为1.33×105 Pa、1.33×102Pa 的组合电容薄膜真空计测量分子泵出口压力,拓展了分子泵最高工作压力和压缩比的测量范围；采用SUS316L 不锈钢制作的测试罩,通过特殊工艺处理后自身的放气量小于10-11 Pam3/s,从而使分子泵获得更好的极限真空度.研究结果表明,装置对分子泵抽速的测量范围为20～5000L/s,相对合成标准不确定度为1.6％～2.6％；对分子泵极限真空度的测量范围为10-3 Pa～2×10-10 Pa,相对合成标准不确定度为1.2％～3.0％；对分子泵压缩比的测量范围为10～1010,相对合成标准不确定度为1.3％～3.2％.