卷对卷技术制备CIGS薄膜太阳电池吸收层均匀性的研究

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以轻质柔性聚酰亚胺(PI)材料为衬底,采用低温共蒸发"一步法"工艺制备四元化合物Cu(In,Ga)Se2(CIGS)薄膜。本文采用卷对卷(roll-to-roll)技术,在衬底幅宽300mm的方向上实现了良好的成膜均匀性。
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