【摘 要】
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本文采用磁控溅射与液相法相结合的技术,首先在玻璃基底上室温射频磁控溅射沉积底层Al掺杂ZnO（AZO）薄膜,之后在底层AZO薄膜上线棒刮涂聚苯乙烯（PS）小球微纳结构层,最后在PS小球微结构层再次沉积AZO薄膜,得到光电性能优良并具有微纳结构的多层膜系AZO薄膜。研究发现底层AZO薄膜厚度对PS小球分布形态有直接的影响,底层AZO薄膜相对较薄（200-450nm）时,微纳结构层的PS小球呈现岛形分
【机 构】
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蚌埠玻璃工业设计研究院浮法玻璃新技术国家重点实验室
【出 处】
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第一届全国功能薄膜与涂层学术研讨会暨国际论坛摘要集
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本文采用磁控溅射与液相法相结合的技术,首先在玻璃基底上室温射频磁控溅射沉积底层Al掺杂ZnO（AZO）薄膜,之后在底层AZO薄膜上线棒刮涂聚苯乙烯（PS）小球微纳结构层,最后在PS小球微结构层再次沉积AZO薄膜,得到光电性能优良并具有微纳结构的多层膜系AZO薄膜。研究发现底层AZO薄膜厚度对PS小球分布形态有直接的影响,底层AZO薄膜相对较薄（200-450nm）时,微纳结构层的PS小球呈现岛形分布;底层AZO薄膜相对较厚（600-900nm）时,微纳结构层的PS小球呈现散点形分布。研究结果表明,不同膜厚AZO薄膜的晶体结构,颗粒大小,表面形貌,生长形态不同,进而影响PS小球与底层AZO薄膜之间的附着形态,因此影响PS小球分布形态。
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