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采用多弧离子镀技术在Ti6A14V合金及纯钛基体上制备TiAlN涂层,利用有限元方法研究不同基体上TiAlN涂层的划痕试验摩擦磨损过程。研究结果表明,当基材与涂层协调变形能力较差,且结合力较低时,在膜基界面处的集中切应力会使涂层整体从基材表面分离;而对于塑性较好的基材可以通过自身的塑性变形来缓解界面处的应力,使薄膜不易整体从基材上分离,接触区前端较大塑性隆起产生的张应力使涂层内部产生断裂及层间剥落。