压降法检漏仪的现场相对校准

来源 :中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Hmilts
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采用漏率国际单位制的压降法检漏仪,漏率单位中包含体积,一般情况下,测试和校准时需要考虑体积参数.本文介绍了一种采用静态升压法现场相对校准压降法检漏仪的简易方法和采用这种方法的试验系统.以被其他方法校准过的某一特定型号的压降法检漏仪为校准对象进行校准试验,试验结果表明,采用此方法进行校准,相对误差最小达到0.92%.这种方法的优点在于校准过程不需要确定容积的校准室.
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