多注速调管控制极表面处理的研究

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多注速调管是在大功率速调管的基础上,采用电子注技术而研制成功的一种新型大功率微波放大器件,由于采用多个电子注增加电子注导流系数,因而具有频带宽,增益和效率高,工作电压低和重量轻等一系列特点[1]。多注速调管中控制极与阴极之间的耐压对速调管稳定工作极为重要,控制极表面易沉积阴极蒸散出来的活性物质,所以对控制极表面和孔里的光洁度要求较高[2]。本文主要研究控制极的电化学抛光,控制极材料为钼,测定了钼材料的极化曲线,表征了抛光前后的表面形貌。经过研究发现钼的晶粒尺寸在20-40um内,可以在硫酸-甲醇体系中进行电化学抛光,并初步确定了钼的电化学抛光参数。
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