一种电容型高分子湿度传感器研究

来源 :中国仪器仪表学会'96沈阳传感器及应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shztky880
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该文在分析湿度传感器发展的过程后,选择了耐热好,抗溶剂腐蚀又是疏水物质的聚酰亚胺作湿敏薄膜,制成湿度传感器。对传感器的结构、感湿机理进行了讨论。对元件的制造工艺和湿敏特性进行了实验研究。认为这种高分子电容湿度传感器是一种性能优良的传感器。进一步改进其制造工艺,增加它的互换性,将是一种有着广阔应用前景的传感器。
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