【摘 要】
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因为石英陀螺芯片加工的工艺难度较大，因此成品率一直不高。双H型石英音叉陀螺因为转动轴不同，可以大大减少工艺难度，是新型的石英陀螺。耦合误差是影响石英音叉陀螺的重要
【机 构】
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北京理工大学 光电学院,北京100081
【出 处】
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2010(第三届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会
论文部分内容阅读
因为石英陀螺芯片加工的工艺难度较大，因此成品率一直不高。双H型石英音叉陀螺因为转动轴不同，可以大大减少工艺难度，是新型的石英陀螺。耦合误差是影响石英音叉陀螺的重要因素，对耦合误差的深入分析是提高陀螺性能的关键。但是因为结构差异，导致双H型石英陀螺的耦合噪声与传统的石英陀螺耦合噪声分布不同，因此需要详细分析。根据双H型石英音叉陀螺的电极分布特点，重点分析了双H型MEMS石英陀螺静电耦合误差的产生机理，分析了在这种电极分布下静电耦合的分布特征，使用ANSYS软件对石英音叉陀螺进行建模仿真，仿真分析了静电耦合误差的分布特点和相位特征，这些分析可以做为电极设计和噪声消除的参考。
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