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Improvement of liquid-phase SH-SAW sensor device on 36°Y-X LiTaO3 substrate
【机 构】
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JapanRadioCo.,Ltd.,JapanSAW&SPR-TechCo.,Ltd.,Japan
【出 处】
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2008 IEEE International Ultrasonics Symposium(IUS)(2008 IEEE
【发表日期】
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2008年11期
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