【摘 要】
：
采用射频磁控溅射法在Y切割的石英单晶上制备了掺杂浓度为3at％的ZnO：Cu薄膜,采用英国Bede公司生产的D1型多功能X射线衍射仪对其进行分析,只在2θ=34.3°附近出现有ZnO的(00
【机 构】
：
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都610054
论文部分内容阅读
采用射频磁控溅射法在Y切割的石英单晶上制备了掺杂浓度为3at％的ZnO：Cu薄膜,采用英国Bede公司生产的D1型多功能X射线衍射仪对其进行分析,只在2θ=34.3°附近出现有ZnO的(002)衍射峰,半高宽为0.42°,说明所制备的ZnO：Cu薄膜为C轴择优取向,且结晶质量较高.通过SEM表面形貌分析和剖面分析,可得知薄膜在石英衬底上呈柱状生长,厚度为448.1nm,薄膜表面结构致密,颗粒大小均匀,表面平整度较好,有利于降低声表面波在薄膜表面的散射.
其他文献
章西崖是四十年代在木刻和漫画上颇有实绩的老画家。他之较少为人所知,其原因是:从1951年开始他就受到错误对待,直到1984年才平反,时间跨度长达33年,几乎隔了一代人。由于他
采用低压金属有机物化学气相沉积技术成功制备了p-GaN/Ga2O3/ZnO/Ga2O3/n-GaN/Sapphire双异质结发光二极管,在正向直流电压下,测试得到～406nm的紫外电致发光。在相同生长
ZnO是最有前景的宽带隙半导体发光材料之一,其激子束缚能高达60 meV,在室温下激子也能稳定存在,有望实现高效的激子发光和低阈值激射.但ZnO室温下带边发光可能由多种发光
世上一切事物均有自己的运行轨迹。一个艺术家也有自己成长的轨迹。轨迹是运行的记录,是艺术家成长的标志。田卫平,数年来在艺术创作上潜心思索着,劳作着,孜孜不倦地吸收着,
掺杂能有效调控ZnO材料的光、电、磁等性能，不同掺杂技术的实现为复杂多变的性能调控提供了依据。关于掺杂过程，先进的薄膜制备技术难以实现杂质的原位监控，且成本较高，关于
语文是一切学习活动的基石,是在生活中运用最为广泛的一门学科.小到对事物的理解,大到对人生的思考,无一不是语文中所包含的教学内容.小学语文教学工作是语文教学的初始阶段,
ZnO的高质量p型掺杂已成为ZnO基结构材料与器件应用的关键技术问题,在诸多掺杂元素中,N被认为是ZnO中最合适的p型掺杂元素,已有理论与实验研究显示V族Te元素对ZnO薄膜中
数学是一门工具性的基础学科,是学好其他科目的基础,只有学好数学才能在其余学科上充分发挥自身才能.小学阶段作为数学科目的基础培养阶段,教师在传授学生知识的基础上,更要
英语作为一门语言,被多个国家采用,是全世界使用范围最广的语言.所以,作为一门语言学科,其在生活当中的实践性一直都是所有英语教育学者讨论和思考的重点.在初中英语教学当中