【摘 要】
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针对使用传统单根电极丝电火花线切割机床进行半导体切片所存在的加工效率低下的问题,提出一种采用多根电极丝的电火花多线切割技术。以三电极丝为例,介绍了自行研制的电火花
【基金项目】
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江苏省自然科学基金青年基金(BK2012388);国家自然科学基金青年基金(51205200)
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针对使用传统单根电极丝电火花线切割机床进行半导体切片所存在的加工效率低下的问题,提出一种采用多根电极丝的电火花多线切割技术。以三电极丝为例,介绍了自行研制的电火花多线切割机床的工作原理与设计方案,建立了电火花多线切割放电加工电路模型,分析了工作液电阻对加工的影响。对多线放电加工过程进行了研究,分析了异步脉冲放电与同步脉冲放电的对加工表面质量的影响。根据同步脉冲放电加工中各电极丝切割能力差异的分析,提出了异脉宽、等周期同步放电控制方法并进行了控制系统编程与加工试验。试验表明,提出的方法能够有效调节各电极丝的加工速度,实现同步协调进给,并且加工效率显著提升,三线同时切割的加工效率是传统电火花单线切割效率的2.79倍。
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