湿法蚀刻制备的图形化蓝宝石衬底的AFM表征:如何辨识和避免假象?

来源 :中国化学会第30届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tswdforu

【摘要】

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　　图形化蓝宝石衬底(patterned sapphire substrate,PSS)是平衬底经干法或湿法蚀刻获得.PSS具有微米/纳米周期性特征结构,能显著提升LED器件的出光效率和寿命.PSS微纳结构

【作者】

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申健甘阳

【机构】

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哈尔滨工业大学化工与化学学院

【出处】

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中国化学会第30届学术年会

【发表日期】

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2016年期

【关键词】

：

湿法蚀刻制备图形化蓝宝石衬底 AFM 表征辨识

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　　图形化蓝宝石衬底(patterned sapphire substrate,PSS)是平衬底经干法或湿法蚀刻获得.PSS具有微米/纳米周期性特征结构,能显著提升LED器件的出光效率和寿命.PSS微纳结构的精细控制和准确表征,对于深入理解蓝宝石的蚀刻机理、阐明LED器件的“结构—性能”关系具有重要意义.

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