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报道了在合肥第二代同步辐射源上进行的同轴软X射线全息术.全息图用光刻胶记录,然后用原子力显微镜读出,并用数字法重现了原始图.重现图的分辨率达到了0.2微米.
具有亚微米分辨率的软X射线全息术
【摘 要】
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报道了在合肥第二代同步辐射源上进行的同轴软X射线全息术.全息图用光刻胶记录,然后用原子力显微镜读出,并用数字法重现了原始图.重现图的分辨率达到了0.2微米.
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,201800国家同步辐射实验室,中国科学技术大学,合肥,230029
【出 处】
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2000年全国场强激光物理会议
【发表日期】
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2000年11期
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