【摘 要】
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平面电容传感器是一种基于边缘电场检测原理的传感器，具有单边检测、穿透深度及信号强度可调的优点，被广泛应用于非金属材料的无损检测。论文对用于热障涂层缺陷检测的平面电容传感器的工作原理进行了分析，利用COMSOL有限元仿真软件对传感器结构进行了优化设计，制备了可用于发动机叶片热障涂层缺陷检测的柔性平面电容传感器，并对传感器的性能进行了测试。测试结果表明柔性平面电容传感器可以有效地检测出非金属材料的缺陷
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平面电容传感器是一种基于边缘电场检测原理的传感器，具有单边检测、穿透深度及信号强度可调的优点，被广泛应用于非金属材料的无损检测。论文对用于热障涂层缺陷检测的平面电容传感器的工作原理进行了分析，利用COMSOL有限元仿真软件对传感器结构进行了优化设计，制备了可用于发动机叶片热障涂层缺陷检测的柔性平面电容传感器，并对传感器的性能进行了测试。测试结果表明柔性平面电容传感器可以有效地检测出非金属材料的缺陷。
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