IC-CAM中的质量管理

来源 :第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zl314
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本文介绍了一个新型集成电路计算机辅助制造(IC-CAM)系统.该系统的质量控制部分实现了由实测数据计算控制图控制限,并能自动检出并标识控制图中的异常点.使用该IC-CAM系统后,可望提高流水进度,大大缩短生产流水周期.
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