Cu厚膜微波性能研究

来源 :第七届全国混合集成电路学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong597
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采用昆明贵金属研究所生产的、在大气气氛烧结的Cu多层导电浆料,通过改进烧结工艺。降低导电相粒子直径和使用干膜反光刻抛光新工艺,建立了一套适应此材料的微波厚膜工艺。此工艺技术能制得表面平整,边沿齐整,分辨率达0.1mm方阻达2~4mΩ/口,附着力达14N/mm,专用焊料焊接良好的微带线。实验结果表明:在工作频率为9GH2时,Cu导电浆料厚膜微带线(A99微波陶恣基片,厚度1mm。带线宽1mm,阻搞为50Ω)传输损耗和同类Au薄膜微带线的传输损耗几乎相等,均是0.18dB/cm,可将Cu多层导电浆料应用到微波领域。
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