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利用硅和氮直接合成氮化硅，并用基作为结合相生产化硅－碳化硅制品时，氮化炉中水蒸汽浓度过大（＞０．７℅）的话，对制品的质量会产生诸多不良影响。
氮化炉中水蒸汽浓度对氮化烧成制品质量的影响
【摘 要】
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利用硅和氮直接合成氮化硅，并用基作为结合相生产化硅－碳化硅制品时，氮化炉中水蒸汽浓度过大（＞０．７℅）的话，对制品的质量会产生诸多不良影响。
【机 构】
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部钢铁研究总院九室(北京)
【出 处】
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1997年全国耐火材料综合学术年会
【发表日期】
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1997年期
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