微机电系统应用技术新进展

来源 :2001全国微波毫米波会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wt920997920

【摘要】

：

未来的电子设备和系统发展的趋势是进一步缩小尺寸、降低成本和功耗.微机电系统(Microelectromechanical system)是一项与集成电路制造工艺相同的新兴技术,已在微波系统中得

【作者】

：

吴群

【机构】

：

哈尔滨工业大学电子与通信工程系

【出处】

：

2001全国微波毫米波会议

【发表日期】

：

2001年期

【关键词】

：

微机电系统系统应用集成电路制造工艺关键技术系统发展微波应用微波系统降低成本发展动态电子设备小尺寸综述射频器件功耗

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未来的电子设备和系统发展的趋势是进一步缩小尺寸、降低成本和功耗.微机电系统(Microelectromechanical system)是一项与集成电路制造工艺相同的新兴技术,已在微波系统中得到广泛应用.本文综述了当前国际上MEMS技术的最新发展动态,以射频与微波应用的各种MEMS器件关键技术为例进行了介绍,最后展望了未来的发展前景.

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