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Synthesis and Characterization of Zirconium Oxynitride Coatings Deposited by Filtered Cathodic Vacuu
【机 构】
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Key Laboratory of Beam Technology and Material Modification of Ministry of Education,College of Nucl
【出 处】
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The 8th Asian-European International Conference on Plasma Su
【发表日期】
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2011年1期
其他文献
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Comparison of Electrical Properties of Aluminum Oxide Thin Films on Silicon and Gallium Arsenide Sub