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磷酸在半导体行业有着非常重要的应用，在应用过程中对其纯度的要求非常高，磷酸中痕量的无机阴离子会对蚀刻晶体造成不良的影响。因此，磷酸中阴离子的分析是非常必要的检测项目。离子色谱作为阴离子分析的首选方法有着简单、快速、灵敏的优点，理所当然成为我们考虑的方法，并且我们也曾经采用大体积直接进样法对磷酸试剂中痕量阴离子进行分析检测，但这种方法仅仅适用于纯度不是很高的磷酸试剂中杂质离子的检测，对于更高纯度的磷酸试剂而言，经过一定稀释之后灵敏度则无法满足要求。本文采用阀切换技术对磷酸中痕量阴离子进行了测定。