【摘 要】
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位置灵敏探测器对于高能物理和核物理都是十分重要的。在核反应中，为了得到核-核碰撞过程及其动力学信息，必须知道出射粒子的角分布或者出射粒子的角关联。例如在核反应中，
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位置灵敏探测器对于高能物理和核物理都是十分重要的。在核反应中，为了得到核-核碰撞过程及其动力学信息，必须知道出射粒子的角分布或者出射粒子的角关联。例如在核反应中，弹性散射的角分布直接反映了核势的大小和角动量的贡献。上述的测量必须借助于位置灵敏探测器来完成。就半导体Si位置灵敏探测器而言，几十年来，曾采用面垒、扩散及离子注入等技术制备。随着半导体工艺技术的发展，用平面工艺+离子注入技术制备的Si多条探测器在高能物理和重离子物理实验中得到广泛应用。这种探测器可用于高粒子多重性的中能重离子碰撞研究，作为粒子鉴别的DE探测器；在低能区超重核合成中，用作余核注入探测器，通过对相继衰变的a粒子进行时间、位置的关联测量来指认目标核等等。
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