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扫描隧道显微镜（STM）是一种可以在实空间观察到原子级分辨图像的实验仪器，且发展出许多衍生仪器，如原子力显微镜（AFM）、扫描近场光学显微镜（SNOM）等，统称为扫描探针显微镜（SPM）。但是以往大多数STM是在室温条件下工作的，不能实时观察样品随温度变化的情况。本文介绍德国Omicron公司新开发的变温超高真空扫描探针显微镜（VT UHV SPM），它包括STM和AFM两部分，可以在25K～700K之间对样品成像。我们利用此设备观察了Si（111）面在不同温度下的表面原子结构图像。