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该文讨论了金属铟柱高度的计算方法，认为矩形截面的铟柱抗弯曲的能力比圆形截面的铟柱更强，指出器件制造工艺误差的影响，严格控制健合的压力和键合后的铟柱高度是获得100％互连成品率的关键。并给出一种利用表面能原理得到较高金属的方法。
混合式红外焦平面阵列互连铟凸点技术
【摘 要】
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该文讨论了金属铟柱高度的计算方法，认为矩形截面的铟柱抗弯曲的能力比圆形截面的铟柱更强，指出器件制造工艺误差的影响，严格控制健合的压力和键合后的铟柱高度是获得100％互连成
【机 构】
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昆明物理研究所(昆明)
【出 处】
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第十三届全国红外科学技术交流会
【发表日期】
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1998年期
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