【摘 要】
：
本文阐述了HgCdTe微台面列阵ICP干法刻蚀掩模技术研究的初步结果。采用常规光刻胶作为HgCdTe材料的ICP干法刻蚀掩模，扫描电镜结果发现,由于刻蚀的选择比低,所以掩模图形退缩严
【机 构】
：
中国科学院上海技术物理研究所材料与器件研究中心,上海,200083
论文部分内容阅读
本文阐述了HgCdTe微台面列阵ICP干法刻蚀掩模技术研究的初步结果。采用常规光刻胶作为HgCdTe材料的ICP干法刻蚀掩模，扫描电镜结果发现,由于刻蚀的选择比低,所以掩模图形退缩严重,刻蚀端面的平整度差,台面侧壁垂直度低。因此采用磁控溅射生长的SiO2掩模进行了相同的HgCdTe干法刻蚀。结果发现,SiO2掩模具有更高的选择比和更好的刻蚀端面。但是深入的测试表明,介质掩模的生长对HgCdTe表面造成了电学损伤。最后通过优化生长条件,获得了无损伤的磁控溅射生长SiO2掩模技术。
其他文献
公路出现裂缝等损害后要尽可能的应用公路修复技术来保证公路的正常使用。目前，在我国主要应用沥青来修补裂缝，保养公路。本文着重分析了公路沥青路面产生裂缝的原因，裂缝的种类
随着我国经济以及科技的不断发展，我国国民的生活水平得到了显著的提高，而在这其中，工程建设对提高国民生活质量所起到的作用也尤显突出，如各种基础设施的完善、合理的城市规划、
随着人们的生活水平和生活质量在不断提高，人们对待精神层面和组织层面的态度也发生了变化，而有关房屋建筑施工质量的要求越来越高，这就使得与之相关的许多施工技术和设备在现阶
昂扬向上的斗志,令人瞩目的业绩,她们是一支务实奋进的生力军;暖人心扉的微笑,亲切舒心的话语,她们又是一道柔和靓丽的风景线。她们曾被评为“江苏省三八红旗集体”“全国巾
本文采用富Te水平推舟液相外延工艺在CdZnTe衬底上生长了HgCdTe外延薄膜，研究了外延薄膜/衬底晶格失配度、X光衍射貌相、红外焦平面器件探测率三者之间的关系。对于HgCdTe外延
随着时代和产业的持续发展，建筑工程的规模、范围不断地增长和扩大，科学制定和全面优化造价控制方案就显得尤为重要。工程造价咨询的核心内容是造价控制，在工程项目建设的不同阶
随着我国经济的发展，市场经济体制的改革。PPP项目建造越来越受到人们的关注。全面造价管理是PPP项目建造的重要组成部分。它对于控制项目成本、提高项目经济效益具有十分重要
建筑工程混凝土的裂缝问题仍然是困扰工程质量的一大难题，本文对其裂缝产生的原因主要从设计、施工、材料三个方面来着手进行了分析。为防止此类裂缝的出现，应采取综合控制的方
在应用共焦显微镜原理实现对超精加工表面的几何量测量中,设计了一种环状的电容位移传感器,对物镜的调焦位移进行测量,使测量光轴从极板的中心孔穿过,测量位移方向与光路的光
在现代建筑施工过程中，混凝土的质量和性能直接影响到建筑工程整体质量和安全。随着建筑行业的迅速发展，混凝土施工技术得到了广泛的使用，而在使用过程中经常由混凝土引发的建筑