单自由度微进给平台设计与研究

来源 :第十四届全国机械设计年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wgl_future
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设计一种由电致陶瓷(PZT)做驱动元件、弹性铰链做预紧机构的单自由度微进给平台,并在线性化的前提下,对微进给平台各个组成部分进行相应简化,建立了工作台动力学模型,分析了微位移工作台的动态特性;通过实验,对所建立的动力学模型及微进给平台在开、闭环控制下的实际特性进行了研究与验证。
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