基于双横向效应PSD的高精度光位置检测仪

来源 :2004年全国光电技术学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yuan6391
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精密机械加工业的发展对光敏位置检测仪提出了更高的要求.新型双横向光电效应PSD克服了横向光电效应PSD具有测量错误大、非线性严重等不足.基于双横向光电效应PSD研制的高精度光位置检测仪位置分辨率高、性能稳定、能满足现阶段工业发展的需要.
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