【摘 要】
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本文研究了YX PMN-PT基片上声表面波传播性能,理论结果表明:1)该基片上水平剪切波具有非常高的机电耦合系数K2,可以达到50％以上,同时存在瑞利杂波;2)瑞利杂波可以通过选择电极及调节电极厚度来抑制.设计并制备了单端谐振器,测试结果表明:1)当使用铜电极且厚度为6％K2可以达到50％,同时,激励出非常强的瑞利波;2)当使用同样厚度的金电极时,K2提高到58％,瑞利波强度减小;3)进一步增加金
【机 构】
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上海交通大学,仪器科学与工程系,上海200240
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本文研究了YX PMN-PT基片上声表面波传播性能,理论结果表明:1)该基片上水平剪切波具有非常高的机电耦合系数K2,可以达到50％以上,同时存在瑞利杂波;2)瑞利杂波可以通过选择电极及调节电极厚度来抑制.设计并制备了单端谐振器,测试结果表明:1)当使用铜电极且厚度为6％K2可以达到50％,同时,激励出非常强的瑞利波;2)当使用同样厚度的金电极时,K2提高到58％,瑞利波强度减小;3)进一步增加金电极厚度至10％λ,可以完全抑制瑞利杂波,获得较纯的振动模.
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