用SEM无损显微分层透视半导体和集成电路及真空微电子器件新检测技术

来源 :第八届中国场致发射与真空微电子学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wjdy110

【摘要】

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本文首次分布应用我们研究成功的在SEM中能无损分层透视内窥检测半导体和集成电路及真空微电子器件的新检测法(简称分层法)和新检测仪(简称分层仪)观察和测量到在亚表面层中

【作者】

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王建李亚文肖玲梁竹关周开邻李萍徐晓华 Pay Э.И. 胡问国

【机构】

：

云南大学物理系昆明物理研究所俄罗斯

【出处】

：

第八届中国场致发射与真空微电子学学术会议

【发表日期】

：

2001年7期

【关键词】

：

无损显微分层透视内窥检测半导体集成电路真空微电子器件新检测法图像信噪比

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本文首次分布应用我们研究成功的在SEM中能无损分层透视内窥检测半导体和集成电路及真空微电子器件的新检测法(简称分层法)和新检测仪(简称分层仪)观察和测量到在亚表面层中各层半导体的缺陷和多层结构微电子器件各层的微结构的测量结果及照片.测量结果突破了扫描电镜的传统应用功能.本文还提出增强图像信噪比的方法.

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