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沉积后退火对β-Ga2O3光电导型日盲紫外探测器性能的影响
【机 构】
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电子科技大学,电子薄膜与集成器件国家重点实验室、微电子与固体电子学院,成都
【出 处】
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第十一届全国分子束外延学术会议
【发表日期】
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2015年期
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