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该文介绍了一种新型的扭摆式加速度传感器，应用隧道电流对隧道电极间距离的高敏感性，采用检测电流的方式，较以往的测试方法具有灵敏度高、频率范围宽等特点。应用体硅加工技术和硅－－玻璃键合技术制备，文章介绍了隧道加速度计的工作原理、设计思路、及制备步骤。
一种新型加速度传感器的研制
【摘 要】
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该文介绍了一种新型的扭摆式加速度传感器，应用隧道电流对隧道电极间距离的高敏感性，采用检测电流的方式，较以往的测试方法具有灵敏度高、频率范围宽等特点。应用体硅加工技术和
【机 构】
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东南大学微电子中心(南京)
【出 处】
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第六届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1999年期
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