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本研究目的在於利用常壓條件下之熱化學氣相沉積(thermal chemical vapor deposition,TCVD)反應,於矽基板上生成奈米碳管(carbon nanotube,CNT),以形成一種可應用為氣體感測器及吸附材料。本研究分為兩階段實驗,第一階段分別以三種不同披覆觸媒之方法來披覆觸媒於基板表面：(一)利用溶膠凝膠法進行披覆觸媒前驅物(NiO)於基板表面；(二)利用蒸鍍法進行披覆金屬元素(Ni)於基板表面；(三)利用有機金屬裂解法(metal organic decomposition, MOD)進行披覆催化劑(NiO)於矽基板表面之工作。