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表面微观形貌测量在工业生产、自动检测、电子工业、机器人视觉等领域有着极大的作用, 表面微观形貌测量技术是现代精密测试计量技术的一个重要组成部分。概述了表面微观形貌的几种测量方法的测量原理及其优缺点,着重介绍了光学测量方法。
表面微观形貌测量技术研究概述
【摘 要】
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表面微观形貌测量在工业生产、自动检测、电子工业、机器人视觉等领域有着极大的作用, 表面微观形貌测量技术是现代精密测试计量技术的一个重要组成部分。概述了表面微观形貌
【机 构】
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中国人民解放军装甲兵工程学院装备再制造系;
【发表日期】
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2004年期
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