Preparation of Si-Al Binary Oxide Coatings and its Electrical Properties

来源 :2011年第三届微电子及等离子体技术国际会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wenjun456852

【摘要】

：

Si-Al binary oxide coatings for the flexible display or the solar cells were deposited on flexible substrates by means of ion assisted electron beam co-evaporation technique in vacuum evaporator.

【作者】

：

Zhengduo WANG Qiang CHEN Zhongwei LIU

【机构】

：

Plasma Physics and Materials Laboratory, Beijing Institute of Graphic Communication, Beijing 102600,

【出处】

：

2011年第三届微电子及等离子体技术国际会议

【发表日期】

：

2011年9期

【关键词】

：

Si-Al Binary Oxide Coating Dielectric barrier

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Si-Al binary oxide coatings for the flexible display or the solar cells were deposited on flexible substrates by means of ion assisted electron beam co-evaporation technique in vacuum evaporator.

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