【摘 要】
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对高精度轴类零件的圆柱度公差要求已达亚微米量级，甚至更高。而通用的测量方法依旧是采用点位传感器的接触式测量，测量结果也仅有一个不圆柱度指标，完全不能反映整个轴表面的圆柱度误差分布状态。本文针对圆柱轴的轴对称特点，就采用干涉扫描拼接技术解决轴类零件的圆柱度精密测量提出了可行的测量方案及其拼接模型。通过计算机仿真和对高精度精密气浮轴的拼接测量，验证了方法的可行性和可靠性。实测结果与Taylor Hob
【出 处】
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2014全国第十届精密工程学术研讨会(PES10`14)
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对高精度轴类零件的圆柱度公差要求已达亚微米量级，甚至更高。而通用的测量方法依旧是采用点位传感器的接触式测量，测量结果也仅有一个不圆柱度指标，完全不能反映整个轴表面的圆柱度误差分布状态。本文针对圆柱轴的轴对称特点，就采用干涉扫描拼接技术解决轴类零件的圆柱度精密测量提出了可行的测量方案及其拼接模型。通过计算机仿真和对高精度精密气浮轴的拼接测量，验证了方法的可行性和可靠性。实测结果与Taylor Hobson 595圆柱度仪的结果相吻，同时又可提该轴整个圆柱表面的误差分布等高图。
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