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针对固相激光诱导金属沉积技术制作电路图形的要求，研制开发了微机控制的激光聚焦扫描系统，利用该系统可实现电路图形的输入、输出，并控制激光扫描，在陶瓷基板上制作出电路图形。
CAD激光制作电路图形研究（一）——设备及软件
【摘 要】
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针对固相激光诱导金属沉积技术制作电路图形的要求，研制开发了微机控制的激光聚焦扫描系统，利用该系统可实现电路图形的输入、输出，并控制激光扫描，在陶瓷基板上制作出电路图形。
【机 构】
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上海激光技术研究所
【出 处】
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中国表面工程协会电镀分会第五届年会
【发表日期】
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1998年期
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