100型MEVVA源离子注入机

来源 :2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lunxyxd
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提高金属蒸汽真空弧(Metal vapor vacuum arc,MEVVA)离子源注入机的注入效率,大幅度降低注入成本是MEVVA源离子注入技术实用化的关键。为此设计研制了采用高占空比、大引出面积、凸形高透过率引出电极等技术的100型MEVVA源注入机。本文介绍了100型MEVVA源注入机的靶室结构和靶盘分布,100型MEVVA离子源的结构特点,测试了100型MEVVA源的主要参数,通过靶盘公转自转、0定位自转与45定位自转的复合注入,得到了相当均匀的大面积注入效果。从而为实现工业规模的金属离子注入提供了注入平台。
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