【摘 要】
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传感器在环境监测中有广泛的应用,而集成窄带通滤光片是光谱特征气体传感器中核心的元件之一,它克服了传统分光元件不能同时获取各个通道光谱信息的缺点,具有广阔的实用价值
【机 构】
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同济大学精密光学工程技术研究所; 中科院上海技术物理研究所;
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传感器在环境监测中有广泛的应用,而集成窄带通滤光片是光谱特征气体传感器中核心的元件之一,它克服了传统分光元件不能同时获取各个通道光谱信息的缺点,具有广阔的实用价值和科研价值。以往所制作的都是单腔结构的滤光片,这种结构虽然制作简单,窄带透射峰容易出现,但是透射峰的矩形性不理想,采用双腔结构可以改善窄带透射峰的矩形性,且可以克服通道集成度不高的缺点。
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