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本文介绍了真空感应CVI/CVD系统结构、功能.针对真空感应系统干扰强的特点,分析了对该系统进行控制的要点，根据操作工艺设计了基于分布式、模块化控制解决方案.实现了被控量的在线实时测控.开发了真空感应系统专用控制软件,同时介绍了控制系统软件的主要功能.分析了PLC、智能模块、智能仪表与工业控制计算机的通讯机制,并给出了通讯的实现方法。