【摘 要】
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化学气相沉积法(CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应,生成固态物质沉积在加热的固态基体表面,进而制得固体材料的工艺技术.众多因素,诸如物质源,催化剂,气流,压力,生长
【机 构】
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中国科学院化学研究所,中关村北一街2号,北京100190
【出 处】
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第十三届固态化学与无机合成学术会议
论文部分内容阅读
化学气相沉积法(CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应,生成固态物质沉积在加热的固态基体表面,进而制得固体材料的工艺技术.众多因素,诸如物质源,催化剂,气流,压力,生长时间,生长温度,冷却速率都分别对CVD过程起不同的作用,因此也为可控合成提供了广阔的研究空间.很多方法都可以合成石墨烯,各有优缺点.CVD法既可以得到高质量的石墨烯,又可以提供一定的量,因此成为石墨烯可控合成的重要方法.本报告将介绍我们近期利用CVD法可控合成高质量石墨烯方面的研究结果[1-10],及其电子学性能的研究进展.
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