【摘 要】
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针对微光学元件的三维面形检测，提出利用数字全息显微方法实现全视场、非接触式、非破坏性的三维定量相衬成像。首先构建了离轴无透镜傅里叶变换数字全息装置，通过对获取的
【机 构】
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北京工业大学应用数理学院,北京100124
【出 处】
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2010中国光学学会全息与光信息处理专业委员会年会暨专委会成立25周年纪念会
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针对微光学元件的三维面形检测，提出利用数字全息显微方法实现全视场、非接触式、非破坏性的三维定量相衬成像。首先构建了离轴无透镜傅里叶变换数字全息装置，通过对获取的全息图进行一次快速傅里叶逆变换实现数值再现，然后采用两步相相位减法校正相位畸变，利用最小二乘法获得解包裹相位图，进而探知测试样本的面形信息。实验中，利用无透镜傅里叶变换数字全息装置对微透镜阵列进行了形貌检测，结果表明其口径D和浮雕深度H分别为1.594mm和2.424μm。同时，我们采用白光轮廓仪对微透镜阵列进行了同步检测，结果显示了良好的一致性，充分表明将数字全息显微术应用于微光学元件三维相衬成像具有可行性和有效性。
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